長野電子の仕事 -Works-

製造

効率的な製造ラインのもと
各工程が優れた品質をつくり出す。

長野電子は、SEH(信越半導体)の国内外の工場が生産する単結晶シリコン(インゴット)を、ウェーハに加工することを主たる業務としております。
SEHの卓越したテクノロジーにより生み出された高品位のインゴットを、高度な加工技術を駆使して、SUPER FLAT・SUPER CLEANのウェーハに磨き上げ、デバイスメーカーにお届けするのが任務と考えております。
メインとするポリッシュドウェーハの他、モニターウェーハラインやテスト済みウェーハの再生加工ラインを有しております。また新製品のSOI誘電体分離ウェーハも各分野で最先端デバイス用として高い評価をいただいております。

SUPER FLAT・SUPER CLEAN

製造部門では「品質は各工程でつくり込むもの」をモットーに、高品位なウェーハを、質的にも量的にも安定して生産することを基本としています。
ポリッシュドウェーハにおける加工精度についてみると、ウェーハの凹凸や傾きを示すフラットネス(平坦度)やパーティクル(付着ゴミ)については30~40nmレベル以下で測定管理され、またキズ、汚れについても、測定機器の計測限界レベルでの管理が求められています。
デバイスメーカーの多様化するニーズに対応するため、レーザーマークをはじめとする各種の特殊加工や、100m∅から300m∅に至る多品種の製造ラインを有しています。

PAGE TOP